Эксплуатация установки полунепрерывного действия "Оратория-5" и расчет времени откачки шлюза

Название:
Эксплуатация установки полунепрерывного действия "Оратория-5" и расчет времени откачки шлюза
Тип работы:
курсовая работа
Размер:
1,8 M
38
Скачать
Обзор современного оборудования для получения тонких пленок. Материалы и конструкции магнетронов для ионного распыления тонких пленок. Назначение, конструктивные элементы рабочей камеры установки "Оратория-5". Основные неисправности, методы их устранения.